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半導體--廠務(wù)系統(tǒng)過濾
圖片說明：一、半導體廠務(wù)超純氣體過濾
電子氣體廣泛運用于半導體制程的各種工藝中，隨著半導體晶圓尺寸的微小化，若電子氣體的純度或凈度不達標，就會影響半導體的良品率。
一座半導體廠在生產(chǎn)中可能使用的電子氣體約50種，可分為大宗氣體（Bulk Gas）和特殊氣體（Special Gas）。大宗氣體包含N?、O?、Ar等，特殊氣體可分為惰性氣體、燃燒氣體和腐蝕氣體。
目前半導體廠對大宗氣體的純度要求達到3N，對特種氣體的純度要求則達到了5N-6N（N 指純度百分比中9的個數(shù)），廠務(wù)系統(tǒng)需要配套的氣體過濾設(shè)備阻隔污染物。
二、半導體廠務(wù)超純化學品過濾
在半導體制造過程中，高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理，涉及到多種濕電子化學品。
在濕電子化學品SEMI標準等級表格中，可以看到高等級濕電子化學品對純度的要求已達到ppt級別，在這些超純化學品正式進入制程前，半導體廠務(wù)系統(tǒng)要對其進行必要的過濾處理。
三、半導體廠務(wù)超純水過濾
廠務(wù)系統(tǒng)還需要對生產(chǎn)中使用的超純水進行質(zhì)量把關(guān)。半導體生產(chǎn)過程需要用到的水分為冷卻循環(huán)水與工藝點位用水兩大類。
冷卻循環(huán)水在半導體廠務(wù)系統(tǒng)中需要大批量，不間斷的長期供應，對過濾的穩(wěn)定性提出了很高的要求。
而用于點位的超純水被稱作 “行業(yè)血脈”，指標要求高之又高，除對溫度、電阻率、顆粒物、溶解氧等指標有規(guī)定外，水中的二氧化硅、硼等元素的含量也要進行嚴格的控制，因為這些元素與半導體晶圓的組成元素相同或相近，很容易參與生產(chǎn)線上的反應而造成產(chǎn)品良率下降。
四、半導體廠務(wù)空氣過濾
在半導體生產(chǎn)車間，粉塵、顆粒等污染物除直接影響成品合格率外，這些污染物粘在集成電路上還有可能造成斷路、短路，甚至有火災的安全隱患，所以半導體生產(chǎn)制程要在嚴格控制的環(huán)境條件的潔凈室中進行，廠務(wù)系統(tǒng)則負責保障潔凈室的潔凈等級。
芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是在車間整個天花板上布滿高效空氣過濾器，整個地面作為回風柵板，如今，芯片廠中有些車間會使用自帶風機的過濾裝置，即FFU。
FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅潔凈度安全性高，而且可以節(jié)省運行空間，操作靈活性高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，在擁有以上優(yōu)點的同時，它還有較低的運行成本，因此在半導體制造中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的無塵車間工程設(shè)計方案，在使用FFU時多采用雙面密封條無隔板過濾器與之配套。
電子氣體廣泛運用于半導體制程的各種工藝中，隨著半導體晶圓尺寸的微小化，若電子氣體的純度或凈度不達標，就會影響半導體的良品率。
一座半導體廠在生產(chǎn)中可能使用的電子氣體約50種，可分為大宗氣體（Bulk Gas）和特殊氣體（Special Gas）。大宗氣體包含N?、O?、Ar等，特殊氣體可分為惰性氣體、燃燒氣體和腐蝕氣體。
目前半導體廠對大宗氣體的純度要求達到3N，對特種氣體的純度要求則達到了5N-6N（N 指純度百分比中9的個數(shù)），廠務(wù)系統(tǒng)需要配套的氣體過濾設(shè)備阻隔污染物。
二、半導體廠務(wù)超純化學品過濾
在半導體制造過程中，高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理，涉及到多種濕電子化學品。
在濕電子化學品SEMI標準等級表格中，可以看到高等級濕電子化學品對純度的要求已達到ppt級別，在這些超純化學品正式進入制程前，半導體廠務(wù)系統(tǒng)要對其進行必要的過濾處理。
三、半導體廠務(wù)超純水過濾
廠務(wù)系統(tǒng)還需要對生產(chǎn)中使用的超純水進行質(zhì)量把關(guān)。半導體生產(chǎn)過程需要用到的水分為冷卻循環(huán)水與工藝點位用水兩大類。
冷卻循環(huán)水在半導體廠務(wù)系統(tǒng)中需要大批量，不間斷的長期供應，對過濾的穩(wěn)定性提出了很高的要求。
而用于點位的超純水被稱作 “行業(yè)血脈”，指標要求高之又高，除對溫度、電阻率、顆粒物、溶解氧等指標有規(guī)定外，水中的二氧化硅、硼等元素的含量也要進行嚴格的控制，因為這些元素與半導體晶圓的組成元素相同或相近，很容易參與生產(chǎn)線上的反應而造成產(chǎn)品良率下降。
四、半導體廠務(wù)空氣過濾
在半導體生產(chǎn)車間，粉塵、顆粒等污染物除直接影響成品合格率外，這些污染物粘在集成電路上還有可能造成斷路、短路，甚至有火災的安全隱患，所以半導體生產(chǎn)制程要在嚴格控制的環(huán)境條件的潔凈室中進行，廠務(wù)系統(tǒng)則負責保障潔凈室的潔凈等級。
芯片廠傳統(tǒng)的通風形式是在車間整個天花板上布滿高效空氣過濾器，整個地面作為回風柵板，如今，芯片廠中有些車間會使用自帶風機的過濾裝置，即FFU。
FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅潔凈度安全性高，而且可以節(jié)省運行空間，操作靈活性高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，在擁有以上優(yōu)點的同時，它還有較低的運行成本，因此在半導體制造中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的無塵車間工程設(shè)計方案，在使用FFU時多采用雙面密封條無隔板過濾器與之配套。
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